Display-Produktion

Umweltbundesamt fordert weniger Stickstofftrifluorid

- Ärger mit vier Teilchen: Ein Stickstoffatom und drei Fluor-Atome rufen nach Ansicht des Umwelbundesamt eine starke Umweltbelastung hervor. Jetzt will der Präsident der Behörde, dass der Ausstoß von Stickstofftrifluorid (NF3) gedrosselt wird. Die Displayfertigung könnte davon betroffen sein. von Peter Beck

Zu viel NF3: UBA-Präsident Jochen Flasbarth macht Druck (Foto: Umweltbundesamt)

Zu viel NF3: UBA-Präsident Jochen Flasbarth macht Druck (Foto: Umweltbundesamt)

Das Umweltbundesamt (UBA) macht Druck: Die Behörde will den Ausstoß eines Treibhausgases stärker kontrollieren, das bei der Produktion von Flachbildschirmen entsteht. Die Stickstoff-Verbindung Stickstofftrifluorid (NF3) soll für die Atmosphäre rund 17.000 Mal schädlicher sein als Kohlendioxid. NF3 gehört zur Gruppe der Stickstoffhalogenide. Das nun in die Kritik geratene Stickstofftrifluorid fiel früher hauptsächlich in der Produktion von Mikroprozessoren an.

Heute sind vor allem die Herstellung von Solarzellen und Flach-Displays Hauptquellen für den NF3-Ausstoß. Beim Plasmaätzen wird NF3 zum Materialabtrag eingesetzt. So lässt sich etwa in der Displayherstellung eine Siliciumverbindung abscheiden. UBA-Präsident Jochen Flasbarth sagte gegenüber der Nachrichtenagentur dpa, es sei bedenklich, dass die Konzentration dieses für das Klima besonders schädlichen Gases deutlich ansteige.

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