OLED-Produktion

Aixtrons Organic Large Area Demonstrator einsatzbereit

- Damit die Produktion großer OLED Panel künftig noch materialsparender wird, hat Aixtron eine neue Demo-Anlage entwickelt, die nun für die ersten Tests der Industrie einsatzbereit ist. von Thomas Kletschke

Aixtrons neuer OLED Demonstrator (Foto: Aixtron)

Aixtrons neuer OLED Demonstrator (Foto: Aixtron)

Aixtron, Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat mit seiner neuen OVPD-Demonstrationsanlage OLAD (Organic Large Area Demonstrator) einen wichtigen Meilenstein erreicht.

Eine mehrmonatige Testphase, mit nach Firmenangaben „zum Teil herausragenden Ergebnissen“ wurde inzwischen abgeschlossen. Jetzt steht die Anlage nun für erste Kundentests zur Verfügung.

Ziel ist es, mit OLAD die für Kunden relevanten Parameter in industrienaher
Umgebung zu demonstrieren. Dazu wurden die von Aixtron für den OVPD-Prozess entworfenen proprietären Kernelemente für Substratgrößen der Generation 8.5 (2.250 x 2.500 mm) skaliert, optimiert und gemeinsam mit der Manz AG in eine Prozesskammer entsprechender Größe integriert.

In diesem Zusammenhang optimierte Aixtron auch seine eigene Quellentechnologie STExS (Short Thermal Exposure Source), so dass damit die je nach Substratgröße und Bedarf exakt dosierten Materialmengen schnell und materialschonend in die Gasphase gebracht werden können.

Im Vergleich zur konventionellen Vakuumverdampfung VTE (Vacuum Thermal Evaporation) bietet diese Quellentechnologie darüber hinaus die Möglichkeit, die Verdampfung innerhalb weniger Sekunden zu starten und nach der Verarbeitung eines Substrats wieder zu stoppen.

In Verbindung mit den bereits erreichten Depositionsraten von mehr als 50
Ångström/Sekunde (Å/Sec) lassen sich auf diese Weise sehr kurze Taktzeiten bei gleichzeitig geringstmöglichem Materialverbrauch realisieren.

Eine Schlüsselrolle spielt daneben die Showerhead-Technologie von AIXTRON, die im Rahmen des OVPD-Prozesses zum Einsatz kommt. Auch sie wurde für die Demo-Anlage auf die entsprechende Größe skaliert und ermöglicht damit im Gegensatz zur Vakuumverdampfung eine flächige Abscheidung der organischen Schichten.

Die dafür notwendigen Materialflüsse werden bei dem OVPD-Prozess von der STExS-Technologie bedient. Eine STExS-Quelle verdampft dazu bei einer effektiven Depositionsrate von 50 Å/Sec etwa 40 Milligramm pro Sekunde. Das patentierte Design stellt gleichzeitig sicher, dass die empfindlichen und teuren Organik-Materialien dabei äußerst schonend behandelt werden.

Bereits durchgeführte Tests bestätigen eine sehr effiziente Materialausnutzung von deutlich über 70%, was im Vergleich zum VTE-Verfahren eine erhebliche Verbesserung darstellt und dem Ziel, die Produktionskosten in der OLED-Fertigung drastisch zu senken, Rechnung trägt.

Die bereits angelaufenen Kundendemos ermöglichen es OLED-Herstellern nun erstmals, das für die Produktion organischer Leuchtdioden auf Basis der OVPD-Technologie mögliche Kostensenkungspotenzial in einer industriell relevanten Größenordnung detailliert zu ermitteln.

„Das Erreichen der Demonstrationsfähigkeit unserer OLAD-Anlage ist ein wichtiges Zwischenziel auf dem Weg zu einer effektiven und effizienten OLED-Produktion. Wir freuen uns, dass wir unseren Kunden aus der Industrie nun eine Technologie anbieten können, die in dieser Hinsicht alle Anforderungen erfüllt“, ist Aixtron Vorstandschef Martin Goetzeler überzeugt.

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