Technologie

Aixtron und Manz bauen OLED-Demo-Anlage bei Aachen

- In den kommenden Monaten entsteht bei Aixtron in Herzogenrath eine Demonstrationsanlage zur OLED-Fertigung. Das Ziel: effizientere und günstigere Produktionsverfahen für die Display-Industrie. von Thomas Kletschke

Ähnlich wie diese bestehende PVPD-Anlage der Größe Gen3.5 wird die kommende aussehen (Foto: Aixtron)

Ähnlich wie diese bestehende PVPD-Anlage der Größe Gen3.5 wird die kommende aussehen (Foto: Aixtron)

Aixtron SE –  Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie – und der Reutlinger Spezialmaschinenbauer Manz AG haben eine strategische Zusammenarbeit zur Weiterentwicklung von Lösungen zur effizienten Produktion organischer Leuchtdioden (OLEDs) vereinbart.

Manz wurde 1987 als Maschinenbauer für spezielle Anwendungen gegründet. Zu den drei Geschäftsbereichen gehört das Feld Displays. Aixtron startete 1983 als Ausgründung aus der RWTH Aachen. Am Aixtron-Standort soll nun eine neue Anlage entstehen, die eine effizientere Fertigung von großen OLED-Displays möglich machen soll. Bisher werden OLEDs industriell zumeist in Größen bis etwa 55 Zoll produziert.

Plan: Mehr als doppelt so große Glassubstrate für OLED wie bisher

Die beiden Unternehmen wollen nun die Chancen des Zukunftsmarkts für OLED-Technologien gemeinsam nutzen. Im Rahmen der Kooperation wollen die Partner eine neue Demonstrationsanlage zur effizienten Abscheidung organischer Schichten bis zur Substratgröße Gen8 (2.300 x 2.500 mm) auf der Basis von Aixtrons patentierter OVPD-Prozesstechnologie entwickeln. Damit nähert man sich den Kapazitäten, die derzeit nur bei LCD möglich sind. Denn bis dato hat Aixtron OLED-Anlagen fertiggestellt, die bis zu Gen3.5 große Substrate produzieren können (600 x 720mm). Bei LCDs sind weltweit derzeit Anlagen für die Größe Gen10 in Betrieb.

Manz wird seine Erfahrung in der Reinigung und Handhabung großformatiger Glassubstrate sowie in der Entwicklung und Fertigung großer Vakuumanlagen einbringen. Aixtron wird im Zuge der Zusammenarbeit seine OVPD-Prozesstechnologie weiterentwickeln, da die effiziente Abscheidung der organischen Schichten als ein entscheidender Produktionsschritt für die wirtschaftliche Herstellung großflächiger OLEDs gilt.

Aufbau in den kommenden Monaten

Mit der OVPD-Technologie lassen sich äußerst homogene, leicht skalierbare Dünnfilme mit hoher Materialeffizienz und hohen Abscheideraten herstellen. Die OVPD-Technologie wurde exklusiv von Universal Display Corporation (UDC), Ewing, N.J./USA, an Aixtron zum Bau von Anlagen lizenziert. Sie basiert auf einer Erfindung eines Wissenschaftlerteams um Professor Stephen R. Forrest an der Princeton University, die wiederum exklusiv an UDC lizenziert wurde. Die neue Anlage wird in den kommenden Monaten in einem Reinraum bei Aixtron in Herzogenrath bei Aachen aufgebaut.

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