OLED-Technologie

Aixtron startet mit Demoanlage bei Aachen

- Mit einer neuen Anlage will Aixtron in Herzogenrath Kunden aus der Displayindustrie und verwandte Bereichen zeigen, wie sich die OLED-Massenfertigung künftig effektiver bewerkstelligen lässt. von Thomas Kletschke

Aixtron: Produktion und Hauptsitz in Herzogenrath bei Aachen (Foto: Aixtron)

Aixtron: Produktion und Hauptsitz in Herzogenrath bei Aachen (Foto: Aixtron)

Der Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie hat ein neues R&D-Cluster zur Demonstration von Produktionsprozessen für die Herstellung organischer Halbleiter in Betrieb genommen. Damit können die verschiedenen Prozesse zur Abscheidung organischer Dünnfilme, die für die Herstellung von OLEDs und flexibler Elektronik benötigt werden, effizient und unter industriellen Produktionsbedingungen demonstriert werden. Die effiziente und großflächige Produktion von organischen Dünnfilmen gilt als Schlüssel zur weiteren Marktdurchdringung von OLEDs.

Der in einem Reinraum bei Aixtron installierte Cluster umfasst mehrere Prozessmodule zur Abscheidung organischer Materialien auf 200x200mm-Substraten („Gen1“). Diese Größe soll potenziellen Kunden die Vorteile dieser Abscheidetechnologie auf Produktionsniveau zu erschwinglichen Kosten und mit überschaubarem Aufwand demonstrieren.

Kern des Demonstrators sind drei OVPD-Module und ein PVPD-Modul von Aixtron. Die proprietäre OVPD- und PVPD-Prozesstechnologie des Herstellers gestattet die Produktion sehr gleichförmiger organischer Dünnfilme mit hoher Materialeffizienz und hohen Abscheideraten, die zur Herstellung von OLEDs, organischer Elektronik und anderen Funktionselementen benötigt werden.

Aixtron-Vorstandsvorsitzender Martin Goetzeler misst organischen Halbleitern eine hohe strategische Bedeutung zu. „Insbesondere OLEDs bieten in Zukunft vielfältige Einsatzmöglichkeiten in Displays und in der allgemeinen Beleuchtung. Daher haben wir die Forschung und Entwicklung in diesem Bereich deutlich intensiviert und durch Investitionen wie das R&D-Cluster weiter vorangetrieben. Ich bin mir sicher, dass unsere Produktionsanlagen für organische Halbleiter künftig eine Schlüsselrolle im Markt spielen werden“, so Goetzeler.

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