Das Umweltbundesamt (UBA) macht Druck: Die Behörde will den Ausstoß eines Treibhausgases stärker kontrollieren, das bei der Produktion von Flachbildschirmen entsteht. Die Stickstoff-Verbindung Stickstofftrifluorid (NF3) soll für die Atmosphäre rund 17.000 Mal schädlicher sein als Kohlendioxid. NF3 gehört zur Gruppe der Stickstoffhalogenide. Das nun in die Kritik geratene Stickstofftrifluorid fiel früher hauptsächlich in der Produktion von Mikroprozessoren an.
Heute sind vor allem die Herstellung von Solarzellen und Flach-Displays Hauptquellen für den NF3-Ausstoß. Beim Plasmaätzen wird NF3 zum Materialabtrag eingesetzt. So lässt sich etwa in der Displayherstellung eine Siliciumverbindung abscheiden. UBA-Präsident Jochen Flasbarth sagte gegenüber der Nachrichtenagentur dpa, es sei bedenklich, dass die Konzentration dieses für das Klima besonders schädlichen Gases deutlich ansteige.